对话企业家

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    CD-SEM（关键尺寸扫描电子显微镜）是半导体晶圆量产专用的纳米级尺寸量测设备，被称为晶圆厂的“纳米标尺”。作为光刻与刻蚀工艺闭环控制必备的计量装备，它直接决定了晶圆图形在线量测的精度与良率。

    “量测设备的真正壁垒不在图纸，而在精度体系、工艺Know-How（技术诀窍），以及数十年迭代数据和经验构建的护城河。”惠然微电子董事长王志刚表示。拥有25年以上大型半导体及科研设备研发经验的他，完整见证了电子束量测从单一CD量测向多维综合表征的技术迭代进程。

    在王志刚看来，半导体高端装备的国产化是一场马拉松，胜负的关键在于谁能更早将核心技术沉淀在自己手中。

    CD-SEM设备的国产化进展如何？ 它对本土半导体产业链意味着什么？ 未来的技术与行业趋势又是怎样的？ 带着这些问题，近日《中国经营报》记者专访了王志刚。